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Neues Mehrstrahlsystems (FIB = Focused Ion Beam) JIB-4610F ‐ Hoher Durchsatz zur Bearbeitung großer Flächen mit großen Stromstärken
 
 
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Neues Mehrstrahlsystem (FIB = Focused Ion Beam) JIB-4610F ‐ Hoher Durchsatz zur Bearbeitung großer Flächen mit großen Stromstärken

11.05.2015

Hohe Auflösung und Präzision sind heute notwendige Kriterien für Bewertungsverfahren, einschließlich Kristallanalysen, Element-Abbildungen und morphologischen Betrachtungen bei zunehmend komplexen Verfahren und struktureller Miniaturisierung hochentwickelter Materialien. Das JIB-4610F ist ein Mehrstrahlsystem für Bearbeitungs- und bildgebende Verfahren, das diese Anforderungen in einem einzigen Tool erfüllt.

Das System umfasst ein leicht bedienbares Out-lens-Rasterelektronenmikroskop (REM) mit einer Schottky-Elektronenkathode und einer neu entwickelten FIB-Säule zur Bearbeitung großer Sondenströme (90 nA) in einer einzigen Kammer.

Nach der Hochgeschwindigkeitsbearbeitung der Probenquerschnitte mit FIB kann eine Hochgeschwindigkeitsanalyse mit verschiedenen Analyseeinheiten wie CLD (Kathodolumineszenz), EBSD (Kristallorientierungsanalyse) und EDS (energiedispersiver Röntgenspektrometrie) durch Einsatz der hochauflösenden REM-Abbildungen und der Schottky-Elektronenkathode zur Erzeugung großer Sondenströme (>200 nA) erfolgen.

Die Standardkonfiguration umfasst eine 3D-Analysefunktion, bei der die Herstellung von Probenquerschnitten und sukzessiver REM-Abbildungen (Cut & See) in bestimmten Zeitabständen automatisch erfolgt. Durch die zusätzliche, optionale 3D-Rekonstruktionssoftware können genauere Analysen der 3-dimensionalen Strukturen einer komplexen Probe durchgeführt werden.

JEOL JIB 4610F - mehr Informationen

 
 
 
 

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