JEOL - Elektronenstrahllithographie

Elektronenstrahl­lithographie

Bereits seit 1967 werden von JEOL Elektronenstrahl-Lithographiesysteme entwickelt und hergestellt. Das Lieferprogramm umfasst Systeme für Masken- und Direct-Write Lithographie, vom Laborsystem bis hin zum Produktionssystem für Maskentechnologie.

Für weniger komplexe Lithographieanwendungen, speziell im Bereich Forschung und Entwicklung sowie Nanotechnologie, bietet JEOL zusätzlich modulare Systeme auf Basis von Rasterelektronenmikroskopen an.

 
 

Modelle:

Für weiterführende Produktinformationen wählen Sie bitte aus nachfolgender Auflistung das gewünschte Modell.

  • JEOL JBX-3050MV

    JEOL JBX-3050MV

    Hochleistungssystem für die Maskenbelichtung bis zu 32 nm Strukturgröße. LaB6-Kathode mit Formstrahlelektronenoptik (shaped beam). Schreibfeld 150 mm x 150 mm.

  • JEOL JBX-8100FS Elektronenstrahllithographie-System

    JEOL JBX-8100FS Elektronenstrahllithographie-System

    Innovatives Lithographiesystem in einem modularen Design.

  • JEOL JBX-9500FS

    JEOL JBX-9500FS

    Punktstrahlsystem für Direktschreiben und Maskenherstellung. Große Schreibfelder bei allen Spannungen. Schreibfeld 230 mm x 230 mm. Substratgröße bis 300 mm. Automatischer Einzelkassettenbetrieb oder automatisches Ladesystem (optional).

 
 

Technische Änderungen und Irrtümer vorbehalten. Alle im Text aufgeführten Markennamen sind eingetragene Warenzeichen der Hersteller.

Kontakt, Termine und Wissenswertes

Kontakt

JEOL (Germany) GmbH
Gute Änger 30
85356 Freising

Tel.: +49 8161 9845-0
Fax: +49 8161 9845-100
E-Mail: info@jeol.de

Zum Kontaktformular


Ansprechpartner

Registrierung
Newsletter abonnieren

Durch die kostenlose Registrierung erhalten Sie zahlreiche zusätzliche Informationen und können einen unserer begehrten Gutscheine für die JEOL-Akademie gewinnen.

Login


Vorführ- und Gebrauchtgeräte

 
JEM-1010
Das JEM-1010 ist ein kostengünstiges und dabei sehr leistungsstarkes Transmissionselektronenmikroskop mit hoher Auflösung.
JSM-7800F PRIME
Hoch­auflösendes analytisches Feld­emissions-Raster­elektronen­mikroskop (SEM). JEOL JSM-7800F PRIME aus unserem Applikationslabor.
JEM-1400Plus
JEOL JEM-1400Plus Transmissions­elektronen­mikroskop aus unserem Applikationslabor.
IB-19510 CP
Einfach zu bedienendes Präparationssystem zur Herstellung von qualitativ hochwertigen Probenquerschnitten für REM-, EPMA- und Auger-Anwendungen.
 
 
 

Kundenumfrage
Sagen Sie uns Ihre Meinung

Ihre Meinung ist uns wichtig. Bitte nehmen Sie sich ein paar Minuten Zeit und helfen Sie uns durch Ihre Teilnahme an unserer Kundenbefragung unseren Service noch weiter zu verbessern.

JEOL-Seminare

Die nächsten Seminartermine:

Keine Einträge vorhanden

JEOL-Akademie

Die nächsten Schulungstermine:

Messetermine

 
  • MC 2017

    21.08. - 25.08.2017 Schweiz
    SwissTech Convention Center, Lausanne

  • MinPet 2017

    06.09. - 09.09.2017 Österreich
    Universität Innsbruck, Innsbruck

  • SAAM

    07.09. - 08.09.2017 Deutschland
    Forschungszentrum Jülich, Jülich

  • Metallographie-Tagung

    13.09. - 15.09.2017 Deutschland
    Hochschule Aalen, Aalen

 
Externer Link zur Webpräsenz: www.jeol.com

Globale Website

 
Externer Link zur Webpräsenz: www.jeol-arm.eu

JEOL ARM-Owner-Group

 
 
RSS
Kontakt

Kontakt

JEOL (Germany) GmbH
Gute Änger 30
85356 Freising

Tel.: +49 8161 9845-0
Fax: +49 8161 9845-100
E-Mail: info@jeol.de

Globale Website

Globale Website

Externer Link zur Webpräsenz: www.jeol.com

JEOL ARM-Owner-Group

Externer Link zur Webpräsenz: www.jeol-arm.eu