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JEOL JBX-6300FS

JEOL JBX-6300FS

Produkt
Spezifikationen
Info

JEOL JBX-6300FS

  • Punktstrahlsystem für feinste Strukturen (Direktschreiben und Maskenherstellung)
  • Ideal für Forschung und Entwicklung
  • Kleinste Toleranzen bei Stitching und Overlay
  • Schreibfeld 150 mm x 150 mm
  • Substratgröße bis 200 mm
  • Einzelkassettenbetrieb oder automatisches Ladesystem für 10 Kassetten

Spezifikationen



Elektronen­quelle

ZrO/W (Schottky)-Emitter

Beschleu­nigungs­spannung

25/50/100 kV

Min. Strahl­durchmesser

2 nm

Substrat­größe

150/200 mm

Strahlform

Spot

Ablenkung

Vector scan

 
 

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Technische Änderungen und Irrtümer vorbehalten. Alle im Text aufgeführten Markennamen sind eingetragene Warenzeichen der Hersteller.

 

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