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JEOL JXA-8530F Hyperprobe Elektronenstrahl-Mikrosonde

JEOL JXA-8530F
Hyperprobe Elektronen­strahl-Mikrosonde

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JEOL JXA-8530F Hyperprobe Elektronen­strahl-Mikrosonde

Die Hyperprobe JXA-8530F ist bereits die zweite Generation von JEOL Elektronenstrahl-Mikrosonden, die dank einer Schottky Feldemissionsquelle zur Erweiterung der Anwendungsbereiche für die Mikroanalyse beiträgt. Für die JXA-8530F wurden die Elektronenoptik und das Vakuumsystem dabei grundlegend geändert und verbessert. Als Ergebnis steht ein wesentlich kleinerer Strahldurchmesser besonders für Mikroanalysen bei niedrigen Beschleunigungsspannungen zur Verfügung.

Analysen bis weit in den Sub-Mikron-Bereich, Analysen an empfindlichen Proben, hochauflösende Abbildung unter Analysenbedingungen sind mit der Hyperprobe JXA-8530F Realität geworden. Die Ausstattung kann wie bei der JXA-8230 mit 1-5 Kristallspektrometern (WDX) sowie einem zusätzlichen EDX-System gewählt werden. Drei verschiedene Spektrometertypen mit speziellen Kristallen stehen dabei zur Kombination für alle denkbaren Anwendungen zur Verfügung:

  • XCE Spektrometer mit 2 Kristallen und hoher spektraler Auflösung
  • XCE-FCS Spektrometer mit 4 Kristallen und hoher spektraler Auflösung
  • H-type Spektrometer für hohe Intensitäten und schnelles Mapping

Ein integriertes, optisches Mikroskop (OM) mit TV-Kamera sowie verschiedene Probenbühnen erlauben die einfache Untersuchung auch großer Proben. Die komfortable Software vereinfacht dabei auch komplexe Analysen und die Darstellung der gewonnenen Ergebnisse.

Spezifikationen

Elektronenoptik

Elektronen­quelle

Feld­emission mit In-lens-Schottky Emitter

Beschleu­nigungs­spannung

1 bis 30 kV

Proben­strom

10-11 bis 5•10-7 A

Strahl­strom­stabilität

±0.3% / h

Auflösung im SE-Bild

3 nm

Minimaler Strahl­durch­messer

40 nm bei 10-8 A, 100 nm 10-7 A (10 kV)

Vergrößerung

x40 bis x300.000

 
 
Analysesystem

Zahl der Spektrometer

1 bis 5

Detektierbarer Element­bereich

5B bis 92U (optional: Be bis U)

Wellen­längen­bereich

0.087 bis 9.3 nm

 
 

Optionen (Auswahl)

  • EDX-System
  • Probenbühnen für große und sehr große Proben
  • Autofokus für das optische Mikroskop
  • Transmissions-Beleuchtung für das optische Mikroskop
  • Software u.a. zur Spektrenentfaltung, Dünnschichtanalyse, Partikelmessung
  • EBSD
  • Kathodolumineszenz

Bitte beachten Sie:

Technische Änderungen und Irrtümer vorbehalten. Alle im Text aufgeführten Markennamen sind eingetragene Warenzeichen der Hersteller.

 

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