JEOL - Rasterelektronenmikroskope (REM)

Raster­elektronen­mikroskope (REM)

Seit mehr als vier Jahrzehnten sind JEOL Rasterelektronenmikroskope unersetzliche Werkzeuge für Forschung, Entwicklung und industrielle Anwendungen aller Art. Weltweit sind bisher über 8000 JEOL Rasterelektronenmikroskope installiert worden.

Rasterelektronenmikroskope erschließen permanent neue Anwendungsfelder wie zum Beispiel in der Nano-Technologie oder der Biologie. Neue Fabrikationsverfahren im Nanometer-Maßstab sind inzwischen so weit fortgeschritten, dass auch entsprechend neue REM-Technologien entwickelt werden müssen.

JEOL entwickelt und produziert deshalb speziell für den jeweiligen Anwendungsbereich zugeschnittene Geräte. Das Produktspektrum besteht aus verschiedenen Geräteserien, die sich hinsichtlich Auflösung und Ausstattung unterscheiden.

 
 

Konventionelle Raster­elektronen­mikroskope

Rasterelektronenmikroskope mit Wolfram- oder LaB6-Kathode
Die Geräte dieser Serie sind bei hoher elektronenoptischer Leistung sehr einfach zu bedienen. Verschiedene Probenkammern, integrierte Elementanalytik (EDX) und Niedervakuumsteuerung (LV) gehören zu den wichtigsten Optionen. Die LV-Option ermöglicht es, mit variablem Kammervakuum zu arbeiten und dadurch auch feuchte, nichtleitende und unpräparierte Proben auf einfache Weise abzubilden und zu analysieren.

 
 

Raster­elektronen­mikroskope mit Feld­emissions­quelle

Feldemissions-Kathoden ermöglichen durch einen deutlich verkleinerten Strahldurchmesser bei erhöhter Strahlstromdichte eine höhere Auflösung als Geräte mit Wolfram oder LaB6-Kathode.

Rasterelektronenmikroskope
mit thermisch unterstützter Feldemission (Schottky-FEG REM)

Die Schottky-Quelle bietet durch Ihre thermisch unterstützte Feldemission einen hohen, langzeitstabilen Probenstrom.
Anwendungsbereiche sind die schnelle und präzise chemische Analytik (EDX/WDX), kristallographische Analysen (EBSD) und qualitativ hochwertige Elektronenstrahllithographie.
Die größere Energiebreite der geheizten Quelle führt jedoch zu Einschränkungen bei der erreichbaren Bildauflösung.

 
 

Analytische Rasterelektronenmikroskope

Alle JEOL REMs mit Wolfram oder LaB6-Kathode können ab Werk mit einem vollständig in der Bedienungsoberfläche integrierten JEOL EDX-System geliefert werden. Die Modellbezeichnung trägt dann jeweils den Zusatz A für Analytik.

Alternativ kann natürlich auch ein EDX-System eines anderen Herstellers installiert werden.

 
 

Bitte beachten Sie:

Technische Änderungen und Irrtümer vorbehalten. Alle im Text aufgeführten Markennamen sind eingetragene Warenzeichen der Hersteller.

 
 
 
 

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