JEOL JSM-7800F PRIME - Hochauflösendes analytisches Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop (SEM)

JEOL JSM-7800F PRIME
Hoch­auflösendes analytisches Feld­emissions-Raster­elektronen­mikroskop (SEM)

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JEOL JSM-7800F PRIME
Hoch­auflösendes analytisches Feld­emissions-
Raster­elektronen­mikroskop (SEM)

Das JSM-7800F PRIME setzt mit seiner herausragend hohen Auflösung und Stabilität neue Standards für Abbildungen und Analyseverfahren im Bereich der Rasterelektronenmikroskopie. Das Leistungsspektrum dieses Hochleistungs-Feldemissions-Rasterelektronenmikroskops umfasst folgende Funktionsmerkmale:

  • Abbildung morphologischer Feinststruktur von Nanomaterialien bei einer Vergrößerung von 1.000.000X mit einer Auflösung von 7Å bei 1kV
  • Aufnahme von großflächigen EBSD-Abbildungen bei geringer Vergrößerung ohne Verzerrung
  • Abbildung und Analyse hochmagnetischer Proben bei niedriger Beschleunigungsspannung
  • Abbildung dünner, elektronentransparenter Proben mit einer Sub-7Å-Auflösung im STEM-in-SEM-Modus.

Optimiert für hochauflösende Bildgebungs- und Analyseverfahren
Das JSM-7800F PRIME verbindet auf einzigartige Weise eine In-lens-Feldemissionskathode mit einer Öffnungswinkel-Kontrolllinse zur Realisierung hoher Sondenströme (bis zu 500 nA) bei kleinstem Probendurchmesser. Das neue Superhybrid-Linsendesign ermöglicht hochauflösende Bildaufnahmen jeden Probentyps. Das SEM zeichnet sich aus durch eine niedrige Beschleunigungsspannung bei gleichzeitig hohen Strahlenströmen mit einem geringen Interaktionsvolumen bei drastischer Steigerung der Auflösung im Sub-100-nm-Bereich. Durch das Gegenfeld im GB-Modus erfolgt ein Ladungsausgleich und eine extrem hochauflösende Abbildung von Objektoberflächen und nichtleitenden Proben sowie eine effektive Reduzierung von Linsenaberrationen.

Große Einsatzvielfalt
Das JSM-7800F PRIME ist für einen großen Anwendungsbereich, von Kryo-Mikroskopie bis Elektronenstrahllithografie, geeignet. Es ist mit mehreren Analysegeräten, einschließlich EDS, WDS, STEM, BSE, CL, EBIC, SXES und einer IR- und Navigationskamera kombinierbar. Das SEM ist mit je drei Bühnen- und Probenschleusengrößen für den Probenwechsel erhältlich. Ferner ist es mit Zug-, Heiz- und Kühlbühnen für In-situ-Experimente ausrüstbar.
Das System ist für Anwendungen bei niedrigem Vakuum für die Abbildung nichtleitender Proben konfigurierbar.

Merkmale

  • Abbildungen bei extrem niedriger Beschleunigungsspannung bis zu 10 V
  • Through-the-lens-Detektor mit Energiefilter für Sekundärelektronen- und Rückstreuelektronenbilder (SE und BSE)
  • Aberrationskorrekturlinse für eine hervorragende Auflösung bei allen Beschleunigungsspannungen und Sondenströmen
  • Gentle Beam (GBSH)-Modus reduziert Auswirkungen von Linsenaberrationen an den Proben (Bühnenabweichung)
  • Große Probenkammer mit mehreren Anschlüssen
  • Intuitive, einfach zu bedienende Benutzeroberfläche
  • Einzigartiger Rückstreudetektor ermöglicht Bildaufnahme sogar bei sehr niedriger Beschleunigungsspannung mit hoher Auflösung

Spezifikationen



Auflösung

0,7 nm (15 kV), 0,7 nm (1 kV),
3,0 nm (5 kV, WD10 mm, 5 nA)

Bildtypen

Sekundär­elektronen- und Rück­streu­elektronen­bilder

Beschleu­nigungs­spannung

0,01 kV bis 30 kV

Proben­vorspannung

0 bis 5 kV

Sonden­strom

wenige pA bis 500 nA,
500 nA @ 30 kV, 20 nA @ 2 kV

Vergrößerung

×25 to ×1.000.000

Elektronen­kathode

In-lens-Schottky Plus-Felde­missions­elektronen­kathode

Öffnungs­winkel-Kontroll­linse

eingebaut

Objektivlinse

Superhybrid-Linse

Objektiv­linsen­öffnung

4-stufig, X-, Y-Anpassungsfunktion

Automatische Funktion

Fokus­korrektur, Astigmatismus­korrektur, Bildhelligkeit, Kontrast

Rezepte

Standardmäßige Betrachtungs­bedingungen, benutzerdefinierte Betrachtungs­bedingungen

 
 
Probenbühne

Probenbühne

Volleuzentrische Goniometerbühne
X: 70 mm
Y: 50 mm
Z: 2 mm bis 41 mm
Neigung: -5 bis +70°
Rotation: 360°
Motorantrieb: 5 Achsen

Probenhalter

12,5 mm Durchmesser ×10 mm H, 32 mm Durchmesser ×20 mm H

GBSH-Probenhalter

26 mm Durchmesser × 10 mm H

Probenwechsel
(über Probenschleuse oder herausfahrbare Bühne)

Probenschleuse Typ 2
(100 mm Durchmesser ×40 mm H)

Pumpsystem

SIP, TMP, RP

 
 

Optionen

  • Anwendungen mit geringem Vakuum
  • Energiedispersive Röntgenspektrometer (EDS) (bis zu 4 gleichzeitig)
  • Wellenlängendispersive Röntgenspektrometer (WDS)
  • Leichtelementspektrometer (SXES)
  • Rückziehbarer Rückstreuelektronendetektor mit kurzem Arbeitsabstand
  • Universeller Sekundärelektronendetektor (USD)
  • Rückziehbarer STEM-Detektor (BF/DF)
  • Bühnen-Navigationssystem (SNS)
  • IR-Kamera für Probenraum
  • Probenhalter: Unterstützung verschiedener Probenhaltertypen

Weitere Details auf Nachfrage

 
 

Probenbühne




Probenbühne

Typ I

Typ II

Probenwechsel-
kammer

X=70 mm、Y=50 mm

X=110 mm、Y=80 mm

Typ II
Max. 100 mm
× 40 mm Höhe

zeigt  Gesamtoberfläche einer Probe mit 86 mm Durchmesser

zeigt Gesamtoberfläche einer Probe mit 100 mm Durchmesser

Bitte beachten Sie:

Technische Änderungen und Irrtümer vorbehalten. Alle im Text aufgeführten Markennamen sind eingetragene Warenzeichen der Hersteller.

 

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