JEOL JAMP-9500F Auger-Mikrosonde

Die neue Feldemissions-Augersonde JAMP-9500F bietet mit 8 nm die weltweit beste laterale analytische Auflösung. Die Auflösung von 3 nm im Abbildungsmodus unterstreicht darüberhinaus die Vorteile einer Feldemissions-Strahlquelle gegenüber herkömmlichen LaB6-Quellen.
Mit einer „low-aberration“ Kondensorlinse, in der ein elektrostatisches Feld und ein magnetisches Feld überlagert sind, in Kombination mit einer patentierten "in-lens" Schottky Feldemissionsquelle, erreicht die JAMP-9500F sehr kleine Strahldurchmesser mit sehr hohen Strahlströmen von bis zu 500 nA.

In der JAMP-9500F kommt erstmals eine neuartige Ionenquelle, die sowohl für schnelles Absputtern und als auch für die Neutralisierung von Aufladungen bei niedriger Energie verwendet werden kann, zum Einsatz. Mit dieser neuen Ionenquelle wird die Untersuchung isolierender Proben problemlos möglich.
Mit der JAMP-9500F können hochaufgelöste REM-Abbildung, Auger-Abbildung, Linienprofilanalysen und Tiefenprofilanalysen auch während einer Ionenätzung durchgeführt werden.

Das Elektronenspektrometer ist ein elektrostatischer, halbsphärischer Analysator (HSA) mit einem Vielkanaldetektor, optimal konzipiert für Auger-Analysen, d.h. beste Energieauflösung ohne Empfindlichkeitsverlust.

Eine benutzerfreundliche, einfache Bedienung sowie eine flexible optionale Ausstattung runden das System ab und machen die JAMP-9500F zu einem universell einsetzbaren Gerät.

Spezifikationen

Elektronenoptik
Elektronenquelle	Feldemissionsquelle (In-lens-Schottky)
Beschleunigungsspannung	0.5 bis 30 kV
Probenstrom	10-12 bis 5 · 10-7 A
Probenstrommessung	wahlweise über Faradaybecher  oder Probenbühne
Objektivblende	4-stufig, motorisiert
Analysesystem
Analysator	Hemisphärischer, elektrostatischer  Analysator
Detektor	Vielkanaldetektion mit Channeltrons,  7 Kanäle
Empfindlichkeit	≥ 840.000 cps (7 Kanäle)
Vakuumsystem
Druck in der Analysenkammer	≤ 5 ·  10-8 Pa (optional: ≤ 1.3 x 10-8 Pa)
Probenbühne
Verfahrwege	X: -48 mm bis +10 mm  Y: ± 10 mm  Z: ± 6 mm  T: 0 bis 90°  R: 360° (endlos)

Optionen (Auswahl)
• EDX, EBSD, SIMS, XPS
• Große Probenbühne (max. 95mm Ø)
• Rückstreuelektronendetektor
• Probenkühlung und Probenbrucheinrichtung
• Probenheizung
• Zusätzliche Proben-Parkstation

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