Basierend auf der Erfahrung von 45 Jahren und dem kontinuierlichen Erfahrungsaustausch mit den Anwendern steht mit der JEOL Superprobe JXA-8230 ein System zur Verfügung, das für die unterschiedlichsten Anwendungen in Analytik und Abbildung optimale Ergebnisse liefert.
Das System verfügt über ein integriertes JEOL EDX-System, das kombinierte EDX/WDX-Analysen auf sehr einfache Weise gestattet. Das EDX-System wird wie ein zusätzliches WDX-Spektrometer behandelt und verfügt über ein Eingangsblendensystem, um das EDX-System auf die bei der WDX-Analytik üblichen hohen Strahlströme und die damit verbundenen hohen Zählraten zu optimieren. Optional ist auch ein LN2-freier EDX-Detektor (SDD) verfügbar.
Die Elektronenoptik der JXA-8230, die mittlerweile 5. Generation der Superprobes, wurde für die Analyse optimiert und bietet vielfältige Automatikfunktionen (Autofokus, Regelung von Kontrast und Helligkeit, Astigmatismuskorrektur). Eine deutlich erweiterte Schärfentiefe lässt sich durch den einzigartigen LDF- (large depth of focus) und MDF- (maximum depth of focus) Modus sehr einfach einstellen.
Insgesamt kann die Superprobe JXA-8230 neben dem EDX-System mit bis zu 5 WDX-Spektrometern ausgestattet werden. Drei verschiedene Spektrometertypen mit speziellen Kristallen stehen dabei zur Kombination für alle denkbaren Anwendungen zur Verfügung:
• XCE Spektrometer mit 2 Kristallen und hoher spektraler Auflösung
• XCE-FCS Spektrometer mit 4 Kristallen und hoher spektraler Auflösung
• H-type Spektrometer für hohe Intensitäten und schnelles Mapping
Ein integriertes, optisches Mikroskop (OM) mit TV-Kamera sowie verschiedene Probenbühnen erlauben die einfache Untersuchung auch großer Proben. Die komfortable Software vereinfacht dabei auch komplexe Analysen und die Darstellung der gewonnenen Ergebnisse.
Spezifikationen
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Elektronenoptik |
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Elektronenquelle |
W- oder LaB6-Emitter (Option) |
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Beschleunigungsspannung |
0.2 bis 30 kV |
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Probenstrom |
10-12 bis 10-5 A |
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Strahlstromstabilität |
±0.05% / h, ±0.3% / 12h |
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Auflösung im SE-Bild |
6 nm |
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Vergrößerung |
x40 bis x300.000 |
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Analysesystem |
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Zahl der Spektrometer |
1 bis 5 |
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Detektierbarer Elementbereich |
5B bis 92U (optional: Be bis U) |
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Wellenlängenbereich |
0.087 bis 9.3 nm |
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EDX-System |
Standard |
Optionen (Auswahl)
• LN2-freies Detektorsystem für die EDX-Analytik
• Probenbühnen für große und sehr große Proben
• Autofokus für das optische Mikroskop
• Transmissions-Beleuchtung für das optische Mikroskop
• Software u.a. zur Spektrendekonvolution, Dünnschichtanalyse, Partikelmessung
• EBSD
• Kathodolumineszenz
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