Die Hyperprobe JXA-8530F ist bereits die zweite Generation von JEOL Elektronenstrahl-Mikrosonden, die dank einer Schottky Feldemissionsquelle zur Erweiterung der Anwendungsbereiche für die Mikroanalyse beiträgt. Für die JXA-8530F wurden die Elektronenoptik und das Vakuumsystem dabei radikal geändert und verbessert. Als Ergebnis steht ein wesentlich kleinerer Strahldurchmesser besonders für Mikroanalysen bei niedrigen Beschleunigungsspannungen zur Verfügung.
Analysen bis weit in den Sub-Mikron-Bereich, Analysen an empfindlichen Proben, hochauflösende Abbildung unter Analysenbedingungen sind mit der Hyperprobe JXA-8530F Realität geworden. Die Ausstattung kann wie bei der JXA-8100 und der JXA-8230 mit 1-5 Kristallspektrometern (WDX) sowie einem zusätzlichen EDX-System gewählt werden. Drei verschiedene Spektrometertypen mit speziellen Kristallen stehen dabei zur Kombination für alle denkbaren Anwendungen zur Verfügung:
• XCE Spektrometer mit 2 Kristallen und hoher spektraler Auflösung
• XCE-FCS Spektrometer mit 4 Kristallen und hoher spektraler Auflösung
• H-type Spektrometer für hohe Intensitäten und schnelles Mapping
Ein integriertes, optisches Mikroskop (OM) mit TV-Kamera sowie verschiedene Probenbühnen erlauben die einfache Untersuchung auch großer Proben. Die komfortable Software vereinfacht dabei auch komplexe Analysen und die Darstellung der gewonnenen Ergebnisse.
Spezifikationen
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Elektronenoptik |
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Elektronenquelle |
Feldemission mit In-lens-Schottky Emitter |
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Beschleunigungsspannung |
1 bis 30 kV |
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Probenstrom |
10-11 bis 5·10-7 A |
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Strahlstromstabilität |
±0.3% / h |
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Auflösung im SE-Bild |
1.2 nm |
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Minimaler Strahldurchmesser |
40 nm bei 10-8 A, 100 nm 10-7 A (10 kV) |
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Vergrößerung |
x40 bis x300.000 |
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Analysesystem |
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Zahl der Spektrometer |
1 bis 5 |
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Detektierbarer Elementbereich |
5B bis 92U (optional: Be bis U) |
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Wellenlängenbereich |
0.087 bis 9.3 nm |
Optionen (Auswahl)
• EDX-System
• Probenbühnen für große und sehr große Proben
• Autofokus für das optische Mikroskop
• Transmissions-Beleuchtung für das optische Mikroskop
• Software u.a. zur Spektrendekonvolution, Dünnschichtanalyse, Partikelmessung
• EBSD
• Kathodolumineszenz.
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