• kompaktes Punktstrahlsystem für feinste Strukturen
• PC-gesteuert, ideal für Forschung und Entwicklung
• leicht zu bedienen
• Zwei unterschiedliche Schreibmodi für hohe Auflösung und hohe Geschwindigkeit
Spezifikationen
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Elektronenquelle |
ZrO/W (Schottky)-Emitter |
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Beschleunigungsspannung |
25/50 kV |
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Min. Linienbreite |
10 nm |
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Substratgröße |
4 Zoll |
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Strahlform |
Spot |
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Ablenkung |
Vector scan |
| Technische Änderungen und Irrtümer vorbehalten. Alle im Text aufgeführten Markennamen sind eingetragene Warenzeichen der Hersteller. |
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