Das JEM-9320FIB Focused Ion Beam System ist ein modernes, hochauflösendes, digitales Focused-Ion-Beam System mit neuentwickelter Ionenoptik und intuitiver, graphischer Benutzeroberfläche (GUI).
Mit der JEM-9320FIB können Dünnschichtschnitte für STEM/TEM- sowie Probenquerschnitte für REM-Untersuchungen aus den unterschiedlichsten Materialien hergestellt werden, die sonst nur schwierig oder unmöglich zu präparieren wären. Abbildung und Materialabtrag erfolgen durch eine einzelne Ionensäule, dadurch wird eine hervorragende Genauigkeit bei Zielpräparationen erreicht.
Wahlweise kann das JEM-9320 FIB-System mit zwei verschiedenen Probenbühnen geliefert werden. Eine Bulk-Stage dient der Präparation von FIB-Cross-Sections und TEM-Lamellen aus großen Probenstücken, ein Side-Entry-Goniometer erlaubt die besonders komfortable Tip-On-Präparation von (S)TEM-Lamellen. Der Probenhalter kann dabei sowohl in das JEM-9320FIB System als auch in JEOL Transmissionselektronenmikroskope eingesetzt werden. Dies erlaubt die Überprüfung von Proben im TEM und das eventuelle Nachdünnen in der JEM-9320FIB ohne die Probe vom Halter nehmen zu müssen.
Die einmalige Twin-Stage Probenkammer erlaubt dabei auch die gemeinsame Installation beider verfügbarer Probenbühnen.
Spezifikationen
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Ionenquelle |
Ga Flüssigmetall |
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Beschleunigungsspannung |
5 bis 30 kV |
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Vergrößerung |
×50 bis ×300.000 |
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Auflösung (Bild) |
6 nm (bei 30kV) |
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Maximaler Strahlstrom |
40 nA (bei 30kV) |
Optionen (Auswahl)
• JEOL TwinStage System, erlaubt die Installation zweier Probenbühnen
• Probenschleuse für große Proben
• Strahlstrommessung
• Metalldepositionseinheit
• Software zur automatischen Probenpräparation
• Interne und/oder externe Manipulatoren
| Technische Änderungen und Irrtümer vorbehalten. Alle im Text aufgeführten Markennamen sind eingetragene Warenzeichen der Hersteller. |
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