JEOL JSM-6701F Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop

Das JEOL JSM-6701F ist ein Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop, mit einer neu entwickelten, ungeheizten Feldemissionsquelle. Die geringe Energiebreite der emittierten Elektronen ermöglicht eine herausragende Fokussierbarkeit des Elektronenstrahls und damit eine hervorragende Auflösung.
Das semi-in-lens-Objektivdesign erlaubt die kontrastreiche Betrachtung von Nanostrukturen bei sehr hohen Auflösungen.

Merkmale
• Probenkammer für Proben bis 200 mm Ø (8“ Wafer)
• zahlreiche Anschlussflansche u.a. für EDS, EBSD, CL, IR-Kamera
• serienmäßige Probenschleuse für schnellen und sauberen Probenwechsel
• alternative Probenschleusen für hohe Proben und Wafer bis 8“ verfügbar
• verschiedene Probenbühnen optional verfügbar
• intuitive, einfach zu bedienende graphische Benutzeroberfläche
• REM-Bedienung über Bedienpult und Maus

Spezifikationen

Elektronenoptik
Elektronenquelle	Feldemission (CFEG)
Beschleunigungsspannung	0.5 kV bis 30 kV
SE-Detektion	in-lens-Detektor mit Energiefilterung
Auflösung im SE-Bild	2.2 nm bei 1kV, 1.0 nm bei 15 kV
Vergrößerungsbereich	25x bis 650.000x
Probenbühne
Verfahrwege (Typ Ia)	X: 70 mm  Y: 50 mm  Z: 1.5 mm bis 25 mm (optional: 1.5 mm bis 41 mm)  T: -5° bis 60°  R: 360° (endlos)
Verfahrwege (Typ II)	X: 110 mm  Y: 80 mm  Z: 1.5 mm bis 25 mm (optional: 1.5 mm bis 41 mm)  T: -5° bis 60°  R: 360° (endlos)
Verfahrwege (Typ III)	X: 140 mm  Y: 80 mm  Z: 1.5 mm bis 25 mm (optional: 1.5 mm bis 41 mm)  T: -5° bis 60°  R: 360° (endlos)

Optionen (Auswahl)
• Flüssig-Stickstoff-Kühlfalle
• Zusätzlicher, konventioneller SE-Detektor
• EDX, EBSD, IR-Kamera
• Rückstreuelektronendetektor
• Probenkühlung und Cryotransfersysteme
• Probenheizung

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