Das JSM-6610LA ist ein kostengünstiges und dabei sehr leistungsstarkes Rasterelektronenmikroskop hoher Auflösung. Die sehr große Probenkammer des JSM-6610LA erlaubt es, auch große Proben bis zu einem Durchmesser von 300 mm zu untersuchen. Eine individuell konfigurierbare, übersichtliche Benutzeroberfläche ermöglicht schnelle Einarbeitung und eine intuitive Bedienung. Die Smile Shot™ Software bietet optimale Geräteeinstellung bei neuen bzw. unbekannten Proben.
Das JSM-6610LA verfügt darüberhinaus über ein vollständig integriertes energiedispersives Röntgenanalysesystem JED-2300. Abbildung und Elementanalyse erfolgt auf einem Rechner, innerhalb einer einzigen Bedienungsoberfläche. Ein einfacher Maus-Klick innerhalb des REM-Bildes genügt dabei, um eine Elementanalyse oder ein Elementmapping durchzuführen.
Verschiedene EDX-Detektoren, die sich hinsichtlich Ihrer Energieauflösung unterscheiden stehen dabei zur Auswahl.
Das JSM-6610LA ist baugleich mit dem JSM-6610A, serienmäßig ist zusätzlich eine Niedervakuum-Steuerung (LV) für einen variablen Kammerdruck im Bereich von 1 bis 270 Pa mit separater Vakuumpumpe und Rückstreuelektronendetektor integriert.
Der LV-Betrieb, kann durch einen einfachen Maus-Klick eingeschaltet werden und ermöglicht die Untersuchung von Proben mit hohem Wassergehalt oder nicht-leitender Oberfläche.
Zahlreiche und wirksame Automatik-Funktionen (Fokus, Kontrast und -Helligkeit, Astigmatismuskorrektur, Quellen- und Säulenjustage) erleichtern die Routinearbeit und ermöglichen auch Anfängern schnell optimale Ergebnisse zu erzielen.
Merkmale
• Super-konische Linse erlaubt eine hohe Bildauflösung bei allen Anregungsspannungen
• Vollautomatisches Vakuumsystem für Hoch- und Niedervakuumbetrieb
• große Probenkammer für Proben bis zu 300 mm Durchmesser
• Vollständig motorisierte, mechanisch-euzentrische 5-Achsen-Bühne
• compuzentrische Rotation und Probenkippung
• Einfache Bühnensteuerung durch Click-Center-Zoom
• Smart Settings für häufig zu untersuchende Proben
• Individuell konfigurierbare Toolbars für wiederkehrende Funktionsabläufe
• Live-Abbildung mit bis zu 4 Detektoren gleichzeitig inklusive Bild-im-Bild
• Mischen verschiedener Detektorsignale
• Integrierte Video-Aufnahme von dynamischen Prozessen (.avi Format)
• extrem kompakte Außenmaße und geringe Installationserfordernisse
• integriertes EDX-System JED-2300 (Version II: Map model) mit
- Aufnahme von qualitativer und quantitativer Analyse
- Automatischer Multi-Punkt Analyse
- Automatische Probendriftkorrektur
- Qualitatives und quantitatives Mapping
- Qualitativer und quantitativer Linescan
- Intelligentes vollautomatisches Mapping durch Active Map
- Speicherung des kompletten Spektrums pro Bildpunkt; ermöglicht ein
späteres Auswerten von Mappings auf evtl. fehlende Elemente
- Automatisches Protokollieren der am REM mit Analytik untersuchten Probenstellen
(inkl. Bühnenkoordinaten, benötigt motorisierte Probenbühne)
- Smart-Communication zwischen REM und EDX-System zur Vermeidung von
systematischen Analysefehlern (z.B. falscher Arbeitsabstand)
- Integrierte Nutzer- und Projektverwaltung
Spezifikationen
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Elektronenoptik |
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Elektronenquelle |
W- oder LaB6-Emitter (optional) |
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Beschleunigungsspannung |
0.3 kV bis 30 kV |
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Auflösung im SE-Bild |
3 nm bei 30 kV, 15 nm bei 1 kV |
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Auflösung in Niedervakuum |
4 nm bei 30 kV |
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Vergrößerungsbereich |
5x bis 300.000x |
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Probenbühne |
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Verfahrwege |
X: 120 mm |
Optionen (Auswahl)
• LaB6-Kathodensystem
• EDX, EBSD, IR-Kamera
• Probenkühlung und Cryotransfersysteme
• Probenheizung
| Technische Änderungen und Irrtümer vorbehalten. Alle im Text aufgeführten Markennamen sind eingetragene Warenzeichen der Hersteller. |
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