JEOL JSM-7001F Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop

Das JEOL JSM-7001F mit seiner einzigartigen in-lens Schottky-Feldemissionskathode bietet bei einer exzellenten Auflösung hohe Probenströme bis zu 200 nA für anspruchsvolle Analytik mit EDS, WDX, EBSD und Kathodolumineszenz.

Der hohe Maximalstrom des JSM-7001F ist dabei aber nur einer der Vorteile dieser neuartigen Quelle, ein weiterer Vorteil ist die einfache, schnelle und stufenlose Regelbarkeit des zur Verfügung stehenden Strahlstroms zwischen einigen pA und dem Maximalstrom.
Das Gerät eignet sich daher auch besonders für die schnelle und hochauflösende Elektronenstrahllithographie. Linienbreiten unter 30 nm lassen sich ebenso einfach schreiben wie große Kontaktpads.

Merkmale
• bis zu 20 nA Probenstrom mit der kleinsten Objektivblende für
  hochauflösende Abbildung und EDS
• bis zu 200 nA Probenstrom für WDX, Kathodolumineszenz, EBSD, Lithographie
• Probenkammer für Proben bis 200 mm Ø (8“ Wafer)
• zahlreiche Anschlussflansche u.a. für EDS, EBSD, CL, IR-Kamera
• serienmäßige Probenschleuse für schnellen und sauberen Probenwechsel
• alternative Probenschleusen für hohe Proben und Wafer bis 8“ verfügbar
• verschiedene Probenbühnen optional verfügbar
• intuitive, einfach zu bedienende graphische Benutzeroberfläche
• REM-Bedienung über Bedienpult und Maus

Spezifikationen

Elektronenoptik
Elektronenquelle	JEOL in-lens Schottky-Feldemissionsquelle
Beschleunigungsspannung	0.5 kV bis 30 kV
Auflösung im SE-Bild	3.0 nm bei 1 kV, 1.2 nm bei 30 kV
Vergrößerungsbereich	10x bis 1.000.000x
Probenbühne
Verfahrwege (Typ I)	X: 70 mm  Y: 50 mm  Z: 3 mm bis 41 mm  T: -5° bis 70°  R: 360° (endlos)
Verfahrwege (Typ II)	X: 110 mm  Y: 80 mm  Z: 3 mm bis 41 mm  T: -5° bis 70°  R: 360° (endlos)
Verfahrwege (Typ III)	X: 140 mm  Y: 80 mm  Z: 3 mm bis 41 mm  T: -5° bis 60°  R: 360° (endlos)

Optionen (Auswahl)
• Niedervakuum-System für Kammerdrücke bis 50 Pa
• Flüssig-Stickstoff-Kühlfalle
• EDX, EBSD, IR-Kamera
• Elektronenstrahllithographie
• Rückstreuelektronendetektor
• Probenkühlung und Cryotransfersysteme
• Probenheizung

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