Das JEOL JSM-7600F ist ein Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop, mit einer neu entwickelten, thermischen Feldemissionsquelle. Die geringe Energiebreite der emittierten Elektronen ermöglicht eine herausragende Fokussierbarkeit des Elektronenstrahls und damit eine hervorragende Auflösung.
Das semi-in-lens-Objektivdesign erlaubt die kontrastreiche Betrachtung von Nanostrukturen bei sehr hohen Auflösungen. Das JSM-7600F verfügt darüberhinaus über die patentierte Gentle Beam™ Methode für extrem hohe Auflösungen bei Beschleunigungsspannungen ab 0.1 kV. Durch die geringe Eindringtiefe des Elektronenstrahls ist bei diesen Energien die Beobachtung echter Oberflächenstrukturen ohne Aufladungseffekte möglich.
Die Ausstattung des JSM-7600F wird komplettiert durch den JEOL r-Filter 2. Generation für die variable Filterung der von der Probe emittierten Sekundär- und Rückstreuelektronen. Damit kann der Probenkontrast zwischen Oberflächenmorphologie und Komposition variiert werden.
Weitere Besonderheiten umfassen einen optionalen in-lens Rückstreuelektronendetektor für echte BSE-Detektion bei extrem kleinen Arbeitsabständen sowie den neuen optionalen JEOL LABE-Detektor für Rückstreuelektronenabbildung bei extrem niedrigen Beschleunigungsspannungen.
Das JEOL JSM-7600FA verfügt darüber hinaus über ein vollständig in das REM integriertes JEOL EDX-System JED-2300F.
Merkmale
• Gentle Beam™ System für hochauflösende Abbildung bei extrem
niedrigen Anregungsspannungen
• r-Filter System 2. Generation zur Sekundärelektronen-Energiefilterung
• Live-Bilddarstellung von bis zu 4 Detektoren
• Probenkammer für Proben bis 200 mm Ø (8“ Wafer)
• zahlreiche Anschlussflansche u.a. für EDS, EBSD, CL, IR-Kamera
• serienmäßige Probenschleuse für schnellen und sauberen Probenwechsel
• alternative Probenschleusen für hohe Proben und Wafer bis 8“ verfügbar
• verschiedene Probenbühnen optional verfügbar
• neu entwickelte, intuitiv einfach zu bedienende graphische Benutzeroberfläche
• REM-Bedienung über Bedienpult und Maus
Spezifikationen
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Elektronenoptik |
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Elektronenquelle |
Feldemission (TFEG) |
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Beschleunigungsspannung |
0.1 bis 30 kV |
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SE-Detektion |
in-lens-Detektor mit Energiefilterung |
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Auflösung im SE-Bild |
1.4 nm bei 1kV, 1.0 nm bei 15 kV |
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Auflösung im STEM-Bild |
0.8 nm bei 30 kV |
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Vergrößerungsbereich |
25x bis 1.000.000x |
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Probenbühne |
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Verfahrwege (Typ Ia) |
X: 70 mm |
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Verfahrwege (Typ II) |
X: 110 mm |
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Verfahrwege (Typ III) |
X: 140 mm |
Optionen (Auswahl)
• Flüssig-Stickstoff-Kühlfalle
• Zusätzlicher, konventioneller SE-Detektor
• in-lens Rückstreuelektronendetektor
• Rückstreuelektronendetektor
• LABE-Detektor für Rückstreuelektronenabbildung bei extrem
niedrigen Beschleunigungsspannungen
• EDX, EBSD, IR-Kamera
• Probenkühlung und Cryotransfersysteme
• Probenheizung
| Technische Änderungen und Irrtümer vorbehalten. Alle im Text aufgeführten Markennamen sind eingetragene Warenzeichen der Hersteller. |
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