JEOL JSPM-4610 UHV Rastersondenmikroskop

Das UHV Rastersondenmikroskop JSPM-4610 ist ein für viele Anwendungen einsetzbares, hochauflösendes UHV-SPM. Das System ist wahlweise als JSPM-4610A (UHV AFM/STM) oder als JSPM-4610S (UHV STM) verfügbar. Durch den Betrieb des SPM im Ultrahochvakuum (UHV) können die Oberflächen weitgehend kontaminationsfrei untersucht werden.
Das JSPM-4610 ist entweder als Komplettgerät oder nach den gestellten Anforderungen individuell konzipiert lieferbar.
Das System lässt sich vielfältig ausbauen. Verfügbar sind unter anderem ein UHV-REM, Auger-Analytik, XPS, RHEED und verschiedene Aufdampf- und Ionenquellen. Optionen für Untersuchungen im Temperaturbereich von < 20K bis über 1500 K komplettieren das System.

Merkmale
• Komplettgerät inkl. UHV-System
• internes Bake-Out-System
• AFM- und STM-Betrieb (bei JSPM-4610A) möglich
• Fast-scan STM-Betrieb (bei JSPM-4610S) möglich
• atomare Auflösung
• einfache Bedienung mit unterschiedlichen Nutzerleveln

Spezifikationen

Bildauflösung
AFM	atomar (mica im contact mode)
STM	atomar (HOPG)
Scanner	Tube Scanner (JSPM-4610A)  Shared Stack Scanner (JSPM-4610S)
Meßmoden
AFM Contact mode	Topography image, Force image, Friction  image, Force curve, Friction force curve,  Contact current image, SPS mapping
AFM AC mode	Topography image, Phase image, Amplitude  image, Slope detection mode, FM detection  mode Lift mode (point by point)
STM Mode	Topography image, Current image,  CITS, I-V, S-V, I-S
Vakuumsystem
Druckbereich	≤ 3 · 10-8 Pa
Bake-out	intern

Optionen (Auswahl)
• Probenheizung und –kühlung im Bereich 20 K bis 1500K
• UHV-REM zur Probenbeobachtung
• Ionenquellen
• Aufdampfquellen
• RHEED, Auger, XPS

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