Die Rastersondenmikroskope (SPM: Scanning probe Microscopes) wurden in den 1980er-Jahren entwickelt und sind heute ein unentbehrliches Werkzeug für die Direktabbildung von Oberflächen und Oberflächenkräften.
Nach dem Rastertunnelmikroskop (STM) 1981, wurde die Technologie um die Rasterkraftmikroskopie (AFM, contact und non-contact) erweitert. Durch den Einsatz verschiedener Techniken ist es heute möglich, magnetische und elektrische Kräfte, Reibungskräfte, Viskoelastizität usw. zu detektieren.
Das SPM wird heute routinemäßig unter anderem bei der Untersuchung von Halbleiterbauelementen, Dünnschichtproben, archäologischen Artefakten, CDs, Festplatten, magnetischen Speichern, zur Untersuchung elektrischer Eigenschaften von Materialien und auch für biologischen Proben eingesetzt.
JEOL SPM Produkte sind in zwei Geräteserien aufgeteilt
• Atmosphärische (environmental) SPMs
• Ultrahochvakuum (UHV)-SPMs
Modelle:
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