Das JEOL JEM-ARM200F (Atomic Resolution Microscope) ist ein Höchstleistungs-TEM mit Feldemissions-Kathode für Untersuchungen auf atomarem Niveau in Materialwissenschaften, Nanotechnologie und Biowissenschaften. Das Gerät verfügt über eine völlig neu entwickelte, hochstabile Elektronenoptik mit integrierter Korrektur der sphärischen Aberrationen (Cs) von Objektiv- und/oder Kondensorlinse.
Das JEM-ARM200F ist das erste (S)TEM seiner Klasse, das konsequent auf den Betrieb mit Cs-Korrektoren entwickelt und optimiert wurde, so verfügt es neben einer neuen hochstabilen Linsensteuerung auch über eine leistungsfähige Abschirmung gegen Störquellen verschiedener Art. Das Ergebnis ist ein System mit einer bisher unerreichten Stabilität und der weltweit höchsten Auflösung im für den praktischen Einsatz wichtigen Beschleunigungsspannungsbereich bis 200 kV. Das JEM-ARM200F erlaubt Abbildungen und Analysen in bisher unerreichten Dimensionen: Atomare Analytik ist mit einer STEM-Auflösung von 0.08 nm, bzw. einer TEM-Auflösung von 0.11 nm nun im Bereich der Routine. Es trägt seinen Namen ARM - Atomic Resolution Microscope - damit zu Recht.
Die Schottky-Feldemissions-Kathode liefert auch bei extrem kleinen Strahldurchmessern 0,1 nm hohe langzeitstabile Ströme geringer Energiebreite für überlegene Leitungsdaten bei analytischen Fragestellungen. Eine darüber hinausgehende Optimierung speziell für EELS-Anwendungen eröffnet die optional verfügbare kalte Feldemissionsquelle (CFEG) mit Nanotip-Design.
Das nochmals verbesserte JEOL side-entry-Goniometer mit 5-Achsen Motorisierung ermöglicht programmierbares Abspeichern und Wiederanfahren von Positionen mit extremer Genauigkeit. Serienmäßig sind Piezoelemente für die X/Y-Bewegung des Goniometers integriert für eine absolut ruckfreie Bewegung der Probe bei höchsten Vergrößerungen und eine effektive Probendriftkompensation. Das extrem stabile Goniometer wurde speziell für Tomographie mit hohen Kippwinkeln konzipiert. Mit der optionalen JEOL Tomographiesoftware TEMography™ werden automatisch Bildserien erfasst, eine 3D-Rekonstruktion berechnet und mit einer 3D Visualisierungs-Software das so rekonstruierte Objekt dargestellt.
Die Windows™ -basierte Benutzeroberfläche des JEM-ARM200F integriert neben der Cs-Korrektur auch die analytischen Zusatzsysteme wie EDX und EELS. Sie ist daher besonders intuitiv und einfach bedienbar.
Spezifikationen
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Elektronenoptik |
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Elektronenquelle |
Feldemissionsquelle (Schottky) CFEG optional |
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Beschleunigungsspannung |
80-200 kV |
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Punkt-Auflösung |
0.11 nm (UHR-Polschuh mit OL Cs-Korrektur) |
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Linien-Auflösung |
0.10 nm |
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STEM HAADF-Auflösung |
0.08 nm (UHR-Polschuh mit OL Cs-Korrektur) |
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Vergrößerungsbereich TEM |
x50 bis max. x2.000.000 |
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Vergrößerungsbereich STEM |
x100 bis max. x150.000.000 |
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Probenbühne |
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Typ |
Side-Entry-Goniometer |
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Verfahrwege |
X: 2 mm Probenhalter) |
Optionen (Auswahl)
• Kalte Feldemissionsquelle mit Nanotip (CFEG)
• Doppelkorrektorsystem
• EDX-Systeme
• EELS-System (GATAN GIF)
• CCD-Kameras
• TEM-/STEM-Tomographie
| Technische Änderungen und Irrtümer vorbehalten. Alle im Text aufgeführten Markennamen sind eingetragene Warenzeichen der Hersteller. |
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