ARM (Atomic Resolution Microscopes) Transmissionselektronenmikroskope (TEM) mit bis zu 1.3 MeV Beschleunigungsspannung

Seit JEOL 1963 mit der Entwicklung von Hochspannungs-TEMs begonnen hat, wurden insgesamt 20 JEOL Ultra-High-Voltage Mikroskope weltweit installiert.

Zu den herausragenden Merkmale gehören das Auflösungsvermögen, die Durchstrahlbarkeit dicker Proben und auch die in-situ Beobachtung von strahlinduzierten Probenveränderungen.
JEOL hat für diese Höchstspannungs-Mikroskope eine Vielzahl neuer Entwicklungen realisiert, z.B. Objektivlinsen mit minimalen Aberrationen, Top-Entry-Goniometer mit hohen Kippwinkeln und Z-Kontrolle. Eine besondere Herausforderung stellen auch die Elektronik für eine Stabilität der Hochspannung und der Linsenströme im Bereich besser 1 ppm sowie die Schwingungsisolierung dar.


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