XPS- und Auger-Analyse

JEOL JAMP-9510F Auger-Mikrosonde

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JEOL JAMP-9510F Auger-Mikrosonde

Die neue Feldemissions-Augersonde JAMP-9510F bietet mit 8 nm die weltweit beste laterale analytische Auflösung. Die Auflösung von 3 nm im Abbildungsmodus unterstreicht darüber hinaus die Vorteile einer Feldemissions-Strahlquelle gegenüber herkömmlichen LaB6-Quellen.

Mit einer „low-aberration“ Kondensorlinse, in der ein elektrostatisches Feld und ein magnetisches Feld überlagert sind, in Kombination mit einer patentierten "in-lens" Schottky Feldemissionsquelle, erreicht die JAMP-9510F sehr kleine Strahldurchmesser mit sehr hohen Strahlströmen von bis zu 500 nA.

In der JAMP-9510F kommt erstmals eine neuartige Ionenquelle, die sowohl für schnelles Absputtern, als auch für die Neutralisierung von Aufladungen geringer Energie verwendet werden kann, zum Einsatz. Mit dieser neuen Ionenquelle wird die Untersuchung isolierender Proben problemlos möglich.

Mit der JAMP-9510F können hochaufgelöste REM-Abbildung, Auger-Abbildung, Linienprofilanalysen und Tiefenprofilanalysen auch während einer Ionenätzung durchgeführt werden.

Das Elektronenspektrometer ist ein elektrostatischer, halbsphärischer Analysator (HSA) mit einem Vielkanaldetektor, optimal konzipiert für Auger-Analysen, d.h. beste Energieauflösung ohne Empfindlichkeitsverlust.

Eine benutzerfreundliche, einfache Bedienung sowie eine flexible optionale Ausstattung runden das System ab und machen die JAMP-9510F zu einem universell einsetzbaren Gerät.

Spezifikationen

Elektronenoptik

Elektronen­quelle

Feld­emissions­quelle (In-lens-Schottky)

Beschleu­nigungs­spannung

0.5 bis 30 kV

Proben­strom

10-12 bis 5 · 10-7 A

Proben­strom­messung

wahlweise über Faraday­becher oder Proben­bühne

Objektiv­blende

4-stufig, motorisiert

Analysesystem

Analysator

Hemisphärischer, elektrostatischer Analysator

Detektor

Vielkanaldetektion mit Channeltrons, 7 Kanäle

Empfindlichkeit

≥ 840.000 cps (7 Kanäle)

Vakuumsystem

Druck in der Analysenkammer

≤ 5 · 10-8 Pa (optional: ≤ 1.3 x 10-8 Pa)

Probenbühne

Verfahrwege

X: -48 mm bis +10 mm


Y: ± 10 mm


Z: ± 6 mm


T: 0 bis 90°


R: 360° (endlos)

Optionen (Auswahl)

  • EDX, EBSD, SIMS, XPS
  • Große Probenbühne (max. 95mm Ø)
  • Rückstreuelektronendetektor 
  • Probenkühlung und Probenbrucheinrichtung
  • Probenheizung
  • Zusätzliche Proben-Parkstation

Bitte beachten Sie:

Technische Änderungen und Irrtümer vorbehalten. Alle im Text aufgeführten Markennamen sind eingetragene Warenzeichen der Hersteller.

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