Rasterelektronenmikroskope (REM)
LazEdge - Laser SEM system
Produkt
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LazEdge Laser-REM-System
Das LazEdge-System verbindet die REM-Technologie von JEOL mit der Lasertechnologie von Hamamatsu Photonics K.K. und ermöglicht eine direkte Laserbearbeitung innerhalb der Probenkammer des Elektronenmikroskops. Das zugrunde liegende System ist ein vollwertiges Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop (FE-REM), das für den Betrieb im Hoch- und Niedervakuum ausgelegt ist. Die Umschaltung zwischen den Vakuummodi kann bei auftretenden Aufladungsartefakten im laufenden Betrieb erfolgen, da kein Wechsel von Hardware-Blenden erforderlich ist. Zusätzlich ist ein JEOL-EDX-System für die Elementanalytik vollständig in die REM-Software integriert.
Mit diesem System können nicht nur hochwertige Querschnittspräparate hergestellt, sondern auch eine großvolumige 3D-Materialanalyse durch schnelle, großflächige Bearbeitung realisiert werden. Die freigelegten Bereiche stehen ohne Umgebungseinflüsse direkt für nachfolgende Untersuchungen – wie REM-Bildgebung, Elementanalysen oder Kristallorientierungsanalysen – zur Verfügung. Dadurch deckt das System unterschiedliche analytische Anforderungen ab, darunter die Untersuchung von Metallproben, luftempfindlichen Batteriematerialien sowie Fehleranalysen an Halbleitern.
Mit diesem System können nicht nur hochwertige Querschnittspräparate hergestellt, sondern auch eine großvolumige 3D-Materialanalyse durch schnelle, großflächige Bearbeitung realisiert werden. Die freigelegten Bereiche stehen ohne Umgebungseinflüsse direkt für nachfolgende Untersuchungen – wie REM-Bildgebung, Elementanalysen oder Kristallorientierungsanalysen – zur Verfügung. Dadurch deckt das System unterschiedliche analytische Anforderungen ab, darunter die Untersuchung von Metallproben, luftempfindlichen Batteriematerialien sowie Fehleranalysen an Halbleitern.
Serielle Querschnittspräparation und 3D-REM-Analytik
- Hochwertige Präparation in der Probenkammer: Durch die Integration eines Femtosekundenlaser-Bearbeitungssystems in das REM ermöglicht das LazEdge die schnelle Präparation großer Flächen direkt im Vakuum. Unter Verwendung eines proprietären optischen Systems, das eine räumliche Phasenmodulation des Laserstrahls erlaubt, wird eine Präparationsebene mit reduzierten LIPSS-Strukturen (Laser-Induced Periodic Surface Structures) erreicht.
- Vermeidung von Kontaminationen in der Probenkammer: Die proprietäre Abschirmtechnologie „LazEdge Shield“ verhindert die unkontrollierte Streuung von abgetragenem Material während der Bearbeitung. Detektoren, die elektronenoptische Säule und die Wände der Probenkammer werden auf diese Weise vor Kontamination geschützt und dauerhaft sauber gehalten
- Nahtloser Ablauf durch laserbasiertes Serial-Sectioning: Der fs-laserbasierte Materialabtrag von bis zu mehreren Millimetern und die anschließende Bildgebung erfolgen sukzessive und alternierend. Beide Prozesse laufen direkt in der REM-Kammer unter Vakuum ab, wodurch ein Probentransfer entfällt. Dieses laserbasierte Serial-Sectioning liefert Querschnitte in einer Qualität, die unmittelbar für EBSD-Messungen (Electron Backscatter Diffraction) nutzbar ist. Durch die automatisierte Wiederholung der Abtrags- und Messschritte lassen sich großformatige 3D-EBSD-Analysen realisieren.
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