Rasterelektronenmikroskope (REM)

Neues Feld­emissions-Raster­elektronen­mikroskop JEOL JSM-7200F – Allround-FEG-REM mit hoher Auflösung und intuitiver Bedienung

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JEOL JSM-7200F – Allround-FEG-REM mit hoher Auflösung und intuitiver Bedienung

Beim neuen JSM-7200F wird dank der patentierten In-Lens Schottky-Plus-Technology vor allem bei niedrigen Beschleunigungsspannungen eine hohe Auflösung (1,6 nm bei 1 kV) erreicht und zugleich kann ein hoher Probenstrom von über 300nA erzeugt werden.

Damit deckt das FEG-REM JSM-7200F einen breiten Anwendungsbereich ab und ermöglicht dabei den einfachen Einstieg in die Welt der Feldemissions-Rasterelektronenmikroskopie.

Merkmale

  1. Perfekte Auflösung
    Auflösung von 1,6 nm bei 1 kV bzw. 1,2 nm bei 30 kV.

  2. Schnelle Analytik
    Maximaler Probenstrom von über 300 nA für schnelle Analytik (EDS, WDS, EBSD oder SXES) bei hoher Ortsauflösung.

  3. In-Lens-Energiefilter
    Das TTL-Detektionssystem (Trough The Lens) ermöglicht die Energie-gefilterte Abbildung von In-Lens-Elektronen. Dadurch kann zwischen der Detektion von Sekundär- und Rückstreu-Elektronen stufenlos variiert werden.

  4. Großflächige Analytik
    Mit Hilfe des LDF-Modus (Large Depth of Field) können großflächige EBSD-Mappings aufgenommen werden ohne die Stage zu bewegen. Zudem können sehr hohe Objekte ohne dynamische Fokuseinstellung vollständig scharf abgebildet werden.

Spezifikationen

Auflösung

1.6 nm (1 kV),
1.2 nm (30 kV)
3.0 nm (15 kV, WD 10 mm, 5 nA / analytische Bedingungen)

Vergrößerung

×10 bis ×1,000,000

Detektoren

Sekundärelektronen, Rückstreuelektronen, transmittierte Elektronen (opt.)

Beschleu­nigungs­spannung

0.01 bis 30 kV

Probenstrom

1 pA bis > 300 nA

Emitter

In-lens Schottky-Feldemitter

Probenbühne

5-achsig motorisierte Probenbühne

Verfahrweg der Probenbühne

X: 70 mm Y: 50 mm Z: 2.0 bis 41 mm
Kippung: – 5 bis 70°, Rotation: 360° (endlos)

Probenschleuse

Inklusive

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