Rasterelektronenmikroskope (REM)

JEOL JSM-7610FPlus Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop

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JSM-7610FPlus Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop

Das neue, höchstauflösende Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop JSM-7610FPlus ermöglicht die Analyse von extrem feinen Strukturen.

Merkmale

  • Durch das Semi-Immersions-Objektiv erzielt das JSM-7610FPlus selbst bei niedrigen Beschleunigungsspannungen und hohen Arbeitsabständen höchste Auflösungen.
  • Im GENTLEBEAM™-Modus werden Elektronen oberhalb der Probe durch ein elektrisches Feld abgebremst. Dieser Modus eignet sich ideal für die hochaufgelöste Abbildung und Analyse bei niedrigen Spannungen.
  • Dank patentiertem Energiefilter ist die flexible In-Lens-Abbildung von Sekundär- und Rückstreuelektronen einfach wie nie.
  • Mit Hilfe des LABE-Detektors (Low-Angle-Rückstreuelektronen) können niederenergetische Rückstreuelektronen unter kleinen Winkeln und niedrigen Arbeitsabständen detektiert werden. Während bei niedrigen Beschleunigungsspannungen detaillierte topografische Informationen gewonnen werden können, kann bei höheren Beschleunigungsspannungen die Materialzusammensetzung untersucht werden.
  • Die In-lens-Schottky-Feldemissionselektronenquelle liefert höchste Probenströme mit hoher Stabilität. Zusätzlich optimiert die Öffnungswinkel-Kontrolllinse (ACL) den Durchmesser des Elektronenstrahls automatisch über den gesamten Probenstrombereich und ermöglicht damit höchste Auflösung bei analytischen Arbeitsbedingungen.
  • Durch die neu konzipierte Probenschleuse können selbst große Proben schnell und sicher gewechselt werden.
  • Das JSM-7610FPlus kann mit zahlreichen Analysesystemen ausgestattet werden, darunter EDX, WDX, CL und weitere Detektoren.

Spezifikationen

Auflösung

0,8 nm (Beschleunigungs­spannung 15 kV)
1,0 nm (Beschleunigungs­spannung 1 kV GB Modus)
Analytik: 3,0 nm (Beschleunigungs­spannung 15 kV, WD 8 mm, Probenstrom 5 nA)

Vergrößerung

×25 bis 19,000 (LM Modus)
×130 bis 1,000,000 (SEM Modus)

Beschleunigungs­spannung

0,1 bis 30 kV

Probenstrom

wenige pA bis ≥ 200 nA

Elektronen­quelle

In-lens Schottky-Feldemissionsquelle

Proben­bühne

Voll-motorisierte, euzentrische Probenbühne

Proben­schleuse

Serienmäßige, große Schleuse mit patentiertem One-Action-System

Detektor­system

In-Lens-Detektor mit integriertem Filter, Everhart-Thornley-Detektor, opt. LABE-Detektor, STEM-Detektor und weitere

Bitte beachten Sie:

Technische Änderungen und Irrtümer vorbehalten. Alle im Text aufgeführten Markennamen sind eingetragene Warenzeichen der Hersteller.

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