JEOL JSM-IT810 Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop
JEOL JSM-IT800 Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop
Das neue Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop JSM-IT810 vereint in einzigartiger Weise höchste Auflösung und Vielseitigkeit mit intuitivem Handling und weitgehender Automatisierung. Erstmalig ist eine Funktion integriert, die die unbeaufsichtigte, sequentielle REM-Abbildung und EDX-Analytik an einer Vielzahl von Probenpositionen ermöglicht. Darüber hinaus stehen neue Funktionen zur Verfügung wie die automatische Kalibration von Vergrößerung und EDX sowie die Entzerrung trapezförmiger, perspektivischer Verzerrungen für großflächige EBSD-Abbildungen.
Dank der neuen graphischen Nutzeroberfläche war es noch nie so einfach, licht-optische Aufnahmen, REM-Abbildungen und die Elementcharakterisierung mittels EDX in einem einheitlichen Arbeitsablauf und einem gemeinsamen Bericht zu vereinen. Dazu stehen nun sogar Live-Funktionen wie eine Echtzeit-3D-Abbildung der Probenoberfläche und Live-EDX-Mappings zur Verfügung.
Mit der patentierten In-Lens Emitter-Technologie erreicht das Mikroskop selbst bei niedrigen Beschleunigungsspannungen eine hohe Auflösung und eignet sich dank des hohen Probenstromes zugleich für sämtliche analytischen Fragestellungen.
Damit deckt das JSM-IT810 gleichermaßen einen breiten Anwendungsbereich ab und ermöglicht den einfachen Einstieg in die Welt der höchstauflösenden Feldemissions-Rasterelektronenmikroskopie.
Merkmale
- Höchstauflösende Bildgebung und Analyse selbst bei magnetischen oder isolierenden Materialien durch Einsatz einer Hybrid-Objektivlinse (HL) oder Super-Hybrid-Objektivlinse (SHL).
- Probenstrom ≥ 300 nA (SHL ≥ 500 nA): für extrem schnelle Analytik.
- In-lens Schottky Plus Feldemissions-Elektronenquelle und Doppel-Kondensorlinsen-System bieten höchste Stabilität und einen kontinuierlich regelbaren Strom.
- Die neue "NeoEngine" und verbesserte Autofunktionen ermöglichen schnelle Übergänge zwischen unterschiedlichen Betriebszuständen.
- „Neo Action“-Funktion für unbeaufsichtigte, sequenzielle SEM- und EDX-Analysen über den kompletten Probenhalter hinweg
- JEOL ZeroMag-Funktion für stufenlosen Übergang zwischen lichtoptischer und REM-Abbildung für einfachste Probennavigation.
- Paket zur automatischen Kalibrierung von Vergrößerung und EDX sowie zur automatischen Strahloptimierung. Damit ist sichergestellt, dass das Mikroskop in perfektem Zustand bleibt*.
- Neue Rückstreuelektronendetektoren ermöglichen die maßgeschneiderte, applikationsoptimierte Konfiguration des Systems, bspw. mit einem flexiblen 6-Segment-Detektor oder einem hochempfindlichen Szintillator-Detektor.
- Zu den Live-Funktionen* gehören 3D-Topographiekarten in Echtzeit, Live-EDX-Analysen und Live-EDX-Mappings.
- Einzigartige Linsenoptik für extreme Schärfentiefe und verzerrungsfreie Abbildung großer Probenstukturen.
- Vollständige Integration des JEOL-EDX-Systems* inkl. Live-EDX für maximalen Bedienkomfort und intuitive Berichterstellung aller aufgenommenen Messdaten. Neben herkömmlichen EDX-Detektoren mit Fenster bietet JEOL auch einen eigenen, geometrie-optimierten und fensterlosen EDX-Detektor („Gather-X“) für Analysen leichter Elemente und Mappings bei hoher Geschwindigkeit an.
- Eingebauter Korrekturalgorithmus für verzerrungsfreie EBSD-Mappings (Trapezkorrektur)*
- Für die Untersuchung nicht-leitfähiger Materialien steht ein flexibles Niedervakuumsystem* auf Knopfdruck zur Verfügung.
- Durch die Probenschleuse* können selbst große Proben schnell und sicher gewechselt werden.
- Das JSM-IT800 kann mit zahlreichen Analysesystemen* ausgestattet werden, darunter EDX, WDX, CL und weitere Detektoren.
- Das neue JEOL-Leichtelementspektrometer SXES* kann leichte Elemente ab Lithium selbst in niedrigsten Konzentrationen nachweisen und ist gleichermaßen für die hochaufgelöste Analyse chemischer Bindungszustände geeignet.
*: Option
Spezifikationen
HL-Konfiguration | SHL-Konfiguration | |
|---|---|---|
Auflösung |
0,7 nm (Beschleunigungsspannung 20 kV) | 0,5 nm (Beschleunigungsspannung 15 kV) |
Vergrößerung |
×10 bis 1.000.000 (Referenz: Polaroid) | ×10 bis 2.000.000 (Referenz: Polaroid) |
Beschleunigungsspannung |
0,01 bis 30 kV | 0,01 bis 30 kV |
Probenstrom | wenige pA bis ≥ 300 nA | wenige pA bis ≥ 500 nA |
Elektronenquelle | In-lens Schottky-Feldemissionsquelle | In-lens Schottky-Feldemissionsquelle |
Probenbühne | Voll-motorisierte, euzentrische Probenbühne | Voll-motorisierte, euzentrische Probenbühne |
Probenschleuse | Große Schleuse mit patentiertem One-Action-System verfügbar | Große Schleuse mit patentiertem One-Action-System verfügbar |
Detektorsystem | In-Lens-Detektor mit integriertem Filter, Everhart-Thornley-Detektor, opt. rückziehbarer Rückstreuelektronen-Detektoren, STEM-Detektoren und weitere | In-Lens-Detektor, Everhart-Thornley-Detektor, opt. gefilterte In-Lens-Abbildung, rückziehbare Rückstreuelektronen-Detektoren, STEM-Detektoren und weitere |
Analyse-Systeme | EDX (JEOL: mit/ohne Fenster, weitere Lieferanten kompatibel), SXES, EBSD, WDS, CL, etc. | EDX (JEOL: mit/ohne Fenster, weitere Lieferanten kompatibel), SXES, EBSD, WDS, CL, etc. |
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