Das SXES ist ein leistungsstarkes Spektrometer mit hoher Energieauflösung zur Analyse leichter Elemente. Es ist als Teil eines integrierten Analysesystems zur Verwendung mit der Mikrosonde oder zur Nutzung als eigenständiger Detektor vorgesehen. Das SXES ermöglicht Analysen im Niederspannungsbereich bei <1 kV, spektrales Mapping mit hoher Energieauflösung, schnelle Paralleldetektion und Analysen chemischer Zustände.
Energieauflösung: | 0,3 eV an der Fermikante von Al-L von Aluminium |
Energiebereich: | JS50XL 50-170 eV (ca. 700 eV mit Röntgenstrahlen höherer Ordnung) |
Energiebereich: | JS200N 70-210 eV (ca. 800 eV mit Röntgenstrahlen höherer Ordnung) |
Verwendbare Geräte: | JXA-8530F, JXA-8230, JXA-8500F, JXA-8100, JXA-8200, JSM-7xxx Serie |
CCD Camera operation: | Software für CCD-Betrieb |
Data converter: | Datenkonvertierung in EPMA-Datenformat für Datenverarbeitung durch EPMA-Betrachter (EPMA-Viewer) |
Kalibrierung für Spektrometer: | Energiekalibrierung für Spektrometer |
XES-Mapping: | XES-Spektralmapping (Betriebsarten Abbildungs-, Linien- und Punktanalyse) |
XES-Reconstructor: | Wiederherstellung der Abbildung für andere gespeicherte ROI-Spektralabbildungen |
Kalibrierkurven-Software (Option): | Spurenelementanalyse für leichte Elemente |
EPMA-Data Viewer: | Diese Software dient der Datenanzeige |
SXES | WDX | EDX | |
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Auflösung | 0,3 eV | 8 eV | 129 eV |
Analyse chemischer Zustände | möglich | möglich | nicht möglich |
Paralleldetektion | möglich | nicht möglich | möglich |
Erkennung | Gitter | Kristall | SDD, SiLi, |
Kühlsystem | Peltier | nicht erforderlich | Peltier |
Empfindlichkeit | 20 ppm (@B) | 100 ppm (@B) | 0,1 % (@B) |
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