Transmissionselektronenmikroskope (TEM)

JEOL JEM-ARM300F – neues ultra­hoch­auflösendes Trans­missions­elektronen­mikroskop

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JEOL JEM-ARM300F – neues ultra­hoch­auflösendes Trans­missions­elektronen­mikroskop

Als Weiterentwicklung des bewährten JEM-ARM200F verfügt das neue 300kV Transmissions­elektronen­mikroskop JEM-ARM300F über eigens von JEOL entwickelte Dodekapol-Korrektoren. Das Gerät mit dem Beinamen GRAND ARM erreicht mit diesen eine Auflösung von bis zu 63 pm im STEM-Betrieb.

Je nach Anwendung kann das GRAND ARM für die ultrahochauflösende Bildgebung oder für hochempfindliche In-situ-Analysen eingerichtet werden.

Das System ist für öffentliche und private Forschungseinrichtungen sowie für die Halbleiterherstellung konzipiert, wobei hier hervorragende Ergebnisse geliefert werden.

Merkmale

  1. Ultrahochauflösende Bildgebung
    Dank des patentierten Cs-Korrektors wird im Rasterbetrieb (STEM) bei einer Beschleunigungsspannung von 300 kV eine Auflösung von 63 pm erreicht.

  2. Kalte Hochleistungs-Feldemissionsquelle
    mit großer Helligkeit und geringer Energiedispersion

    Das Grundsystem enthält bereits eine neue kalte Feldemissionsquelle. Der lichtstarke Strahl mit minimaler chromatischer Aberation ermöglicht eine hochauflösende Bildgebung und schnelle Analyse.

  3. Großer Bereich einstellbarer Beschleunigungsspannungen
    Standardmäßig werden Beschleunigungsspannungen von 300 und 80 kV unterstützt; weitere Spannungen sind auf Anfrage möglich.

  4. Integrierte Aberrationskorrektur im Grundgerät
    Das GRAND ARM beinhaltet die von JEOL selbst entwickelten Korrektoren für die sphärische Aberration im Bilderzeugungs- (TEM-Korrektur) und Beleuchtungssystem (STEM-Korrektur).

  5. Regelbare Aberrationskorrektoren
    Automatische oder manuelle Regelung der Fehlerkorrektoren über JEOL COSMO (JEOL Corrector System Module).

  6. Zwei verschiedene Objektiv-Polschuhe
    Die beiden verschiedenen Polschuhe für das Objektiv ermöglichen eine Vielzahl unterschiedlicher Anwendungen.

  7. Öl-freies Vakuumsystem mit trockener Vorevakuierung und Hochvakuum
    Zur Vorevakuierung der Vakuumeinheit kommt serienmäßig eine Turbo-Molekularpumpe zum Einsatz. Ionen-Getter-Pumpen für die Säule und Kathode ermöglichen ein höheres Vakuum für die ultrahochauflösende Bildgebung und Analyse auf atomarer Ebene.

  8. Stabile Säule/Konsole, Objektträger und Elektroanlage
    Die Säule bietet bei einem Durchmesser von 330 mm ein erhöhtes Maß an mechanischer Festigkeit. Die bereits im JEM-ARM200F bewährten Stabilisierungsmethoden tragen zu einer erhöhten mechanischen und elektrischen Stabilität und Unempfindlichkeit gegenüber Umgebungseinflüssen bei.

  9. Vielzahl möglicher Detektoren
    Hierzu gehören unter anderem EDS- (energiedispersive Röntgenspektrometrie) mit einer Fläche von bis zu 100 mm2 und EELS-Detektoren (Elektronenenergieverlustspektrometer), Detektoren für rückgestreute Elektronen sowie bis zu 4 STEM-Detektoren. Daneben ermöglicht das Mikroskop auch die gleichzeitige Beobachtung von HAADF (high-angle annular dark field) und LAADF (low-angle annular dark field) sowie des ringförmigen Hellfeldes.

Technische Angaben

Beschleu­nigungs­spannung

Max. 300 kV

TEM-Auflösung (Gitter)

0,05 nm (bei Korrektur der sphärischen Aberration im Bild­erzeugungs­system)

STEM-Auflösung

0,063 nm (bei Korrektur der sphärischen Aberration im Beleuchtungs­system)

Optionen

  • JEOL Cosmo
  • EDS & EELS
  • STEM- / TEM-Korrektur (von JEOL)

Bitte beachten Sie:

Technische Änderungen und Irrtümer vorbehalten. Alle im Text aufgeführten Markennamen sind eingetragene Warenzeichen der Hersteller.

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