Das Lieferprogramm von JEOL umfasst Systeme für Masken- und Direktschreib-Lithographie, vom Laborsystem bis hin zum Produktionssystem für Maskentechnologie.
Für weniger komplexe Lithographie-Anwendungen, speziell im Bereich Forschung und Entwicklung sowie Nanotechnologie, bietet JEOL zusätzlich modulare Systeme auf Basis von Rasterelektronenmikroskopen an.
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