JEOL XPS- und Auger-Analysesysteme erlauben die Untersuchung und Bestimmung der Chemie von Oberflächen und Oberflächenkontaminationen mit sehr hoher Empfindlichkeit. Je nach Anforderung an die laterale Auflösung erfolgt die Anregung der Photoelektronen mittels (monochromatisierter) Röntgenstrahlung (XPS) oder durch Elektronen (Auger). In beiden Systemen kommt JEOLs hemisphärischer Analysator zum Einsatz, der eine bis zu 5-mal höhere Empfindlichkeit als herkömmliche Systeme bietet. Damit lassen sich selbst Spurenelemente in hochauflösenden Elementverteilungsbildern darstellen. Ergänzend dazu erlaubt der hemisphärische Analysator auch die Darstellung von Bindungszuständen (Chemical Shift) in Verteilungsbildern.
Durch eine zusätzliche Ar+-Ionen Quelle können sowohl die JEOL XPS- als auch die Auger-Systeme zu Systemen für die Tiefenprofilanalyse ausgebaut werden.
Der Nachweis von Seltenen Erden ist nicht nur in mineralogischen Proben von Interesse, sondern gewinnt durch die fortlaufende Entwicklung von Hochleistungsmikroelektronik immer mehr an Bedeutung. Für den Nachweis der zumeist niedrigkonzentrierten Elemente setzt JEOL seit Jahrzehnten den Maßstab für energetisch und räumlich höchstauflösende Spurenelementanalytik.
Seltene Erden als Beispiel für Spurenelementanalytik
Bildquelle: JEOL (Germany) GmbH, Demoreport Uni. Wien (JXA)
Mineralien sind häufig als komplexe Strukturen aus einer Vielzahl von Elementen aufgebaut. Zur ortsaufgelösten Visualisierung der chemischen Zusammensetzung stellen Elementverteilungsbilder eine der wichtigsten Methoden dar. Mit Hilfe dieser Verteilungsbilder werden essentielle Informationen wie z.B. die Entstehung und die Struktur der zu untersuchenden Probe gewonnen. Für diese Aufgabe liefert JEOL die stabilsten sowie energetisch und räumlich höchstauflösenden Spektroskopie-Systeme.
Elementverteilungsbilder eines Symplektit-Schliffes
Bildquelle: JEOL (Germany) GmbH, Demoreport Uni. Wien (JXA)