XPS- und Auger-Analyse
XPS- und Auger-Analyse
XPS- und Auger-Analyse

Anwendung und Einsatzbereiche

JEOL XPS- und Auger-Analysesysteme erlauben die Untersuchung und Bestimmung der Chemie von Oberflächen und Oberflächenkontaminationen mit sehr hoher Empfindlichkeit. Je nach Anforderung an die laterale Auflösung erfolgt die Anregung der Photoelektronen mittels (monochromatisierter) Röntgenstrahlung (XPS) oder durch Elektronen (Auger). In beiden Systemen kommt JEOL’s hemisphärischer Analysator zum Einsatz, der eine bis zu 5-mal höhere Empfindlichkeit als herkömmliche Systeme bietet. Damit lassen sich selbst Spurenelemente in hochauflösenden Elementverteilungsbildern darstellen. Ergänzend dazu erlaubt der hemisphärische Analysator auch die Darstellung von Bindungszuständen (Chemical Shift) in Verteilungsbildern.

Durch eine zusätzliche Ar+-Ionen Quelle können sowohl die JEOL XPS- als auch die Auger-Systeme zu Systemen für die Tiefenprofilanalyse ausgebaut werden.

Lösungen

  • Extrem hohe Oberflächensensitivität in der Elementanalytik
  • Hochauflösende Abbildung und Mapping
  • Einfache, intuitive Bedienung
  • Tiefenprofilanalyse auch für Spurenelemente

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