Das JEOL "NEOARM" / JEM-ARM200F zeichnet sich durch eine kalte Feldemissionsquelle (Cold FEG) und einen Cs-Korrektor (ASCOR), der Aberrationen höherer Ordnungen kompensiert, aus. Diese Kombination aus Cold FEG und ASCOR ermöglicht gleichermaßen atomare Auflösung bei hohen Spannungen bis 200kV und bei niedrigen Spannungen bis 30 kV.
Durch das JEOL Cosmos System kann eine schnelle und präzise Optimierung des Korrektors automatisch durchgeführt werden und ermöglicht somit einen hohen Probendurchsatz. Das eABF STEM-Detektionssystem des „NEOARM“ erzielt bei niedrigen Beschleunigungsspannungen durch einen deutlich verbesserten Kontrast sehr hohe Auflösungen bei der Abbildung leichter Elemente. Das äußere Design des „NEOARM“ wurde in den Farben Weiß und Silber gestaltet und für eine Remote-Bedienung optimiert.
Auflösung*1 | STEM HAADF:70 pm (200 kV), 100 pm (80 kV), 160 pm (30 kV) |
Elektronenquelle | Kalte Feldemissionsquelle (Cold FEG) |
Korrektor | STEM: NEO ASCOR HOAC*², TEM: CETCOR |
Korrektor-Einstellung |
NEO JEOL COSMO™ Auto tuning System Ad-hock tune (SIAM) |
Beschleunigungsspannung | 0 bis 200 kV (30, 80, 200 kV: Standard. 60, 120 kV: Optional) |
Magnetfeldfreier Modus | Lorentz Objektiveinstellungen (×50 bis x80 k auf dem Schirm) |
Bewegungsbereich Probenbühne | X, Y and Z |
Bedienungsart | Remote-Bedienung |
*1 UHR-Polschuh mit STEM/TEM Cs-Korrektor)
*2 HOAC (Korrektur höherer Ordnungen)
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